Tuotteen yleiskatsaus
Pyöreät titaanisputterointikohteet toimivat erittäin{0}}puhtaiden katodin lähdemateriaalina magnetronisputterointi- ja fysikaalisiin höyrypinnoitusjärjestelmiin (PVD). Tyhjiö-sulatetusta titaaniharkista valmistetut pyöreät kohteet tarjoavat tasaiset mikrorakenteet varmistaen vakaan plasmapurkauksen, ennustettavan ohutkalvon kasvunopeuden ja tasaisen sähkönjohtavuuden puolijohde-, optisten ja koristeellisten pinnoituslinjojen välillä.
Tekniset tiedot
|
Puhtaus |
Arvosana 1 (99,5 %), luokka 2 (99,7 %), 99,9 % (3N), 99,95 % (3N5), 99,99 % (4N), 99,995 % (4N5) |
|
Vakiohalkaisijat |
2 tuumaa - 16 tuumaa (muokatut mitat saatavilla pyynnöstä) |
|
Paksuusalue |
3 mm - 20 mm |
|
Mikrorakenne |
Keskimääräinen raekoko < 100 um tasaakselisella raejakaumalla |
|
Tiheys |
> 4.51 g/cm3 (>99,5 % teoreettinen tiheys) |
|
Taustalevyn materiaalit |
Kupari (OFHC), hapeton{0}}kupari tai alumiini (indium- tai elastomeeriliitos saatavilla) |
|
Pintakäsittely |
Koneistettu, hiottu tai kiillotettu (Ra<= 0.4 um), vacuum-cleaned and vacuum-packed |
Tärkeimmät ominaisuudet
Hieno ja tasainen raekoko:Hallittu lämpö{0}}mekaaninen käsittely estää paikallisen ylikuumenemisen vähentäen hiukkasten muodostumista ja reikävirheitä suuren-tehon pinnoitusajon aikana.
Vähäiset kaasun epäpuhtaudet:Hallitut hapen, typen, hiilen ja vedyn interstitiaaliset tasot minimoivat mikro{0}}kaarien muodostumisen tyhjökammion sisällä.
Korkea metallurginen liimauslujuus:Ultraääniskannaus vahvistaa > 95 %:n sidospeiton titaanikohdelaatan ja kuparisen taustalevyn välillä, mikä varmistaa optimaalisen lämmön- ja sähkönsiirron.
Tarkat mittatoleranssit:CNC-työstö säilyttää ulkohalkaisijan ja paksuuden toleranssit +/- 0.1 mm:n sisällä tarkan järjestelmän sovituksen varmistamiseksi.
Sovellukset
Puolijohde ja mikroelektroniikka:Gate elektrodipinnoitus, diffuusioesteet ja siemenkerrokset integroituja piirejä varten.
Optiset pinnoitteet:Heijastamattomat (AR) pinnoitteet, optiset suodattimet ja tarkkuuslinssin parannukset.
Arkkitehtuuri- ja autolasit:Matala-emissiokykyinen (Matala-E) pinnoitteet ja aurinkosuojakalvot energia-tehokkaaseen lasitukseen.
Koriste- ja kulutusta{0}}kestävä PVD:Titaaninitridi (TiN) tai titaanikarbo-nitridi (TiCN) toiminnalliset kerrokset laitteistoille, rannekelloille ja leikkaustyökaluille.
Räätälöinti ja valmistus
Tuotannossa hyödynnetään tyhjiöinduktiosulatusta (VIM), tyhjiökaarisulatusta (VAR), monisuuntaista taontaa ja tarkkuusvalssausta. Tämä käsittelyreitti hajottaa valurakenteet poistaakseen sisäiset kutistumisontelot.
Mukautetut geometriat:Porrastetut reunat, viisteet, kierteitetyt jäähdytysreiät ja ei--standardihalkaisijat, jotka on kartoitettu tiettyihin katodipistooleihin (esim. Angstrom Sciences, AJA International, Lesker).
Kiinnityspalvelut:Indium- ja elastomeeriliitos suoritettu{0}}talossa kestämään suuria tehotiheyksiä ilman lämpöirrotusta.
Laadunvalvonta ja sertifioinnit
Kemiallinen analyysi:Induktiivisesti kytketty plasmamassaspektrometria (ICP-MS) ja hehkupurkausmassaspektrometria (GDMS) varmistavat metallisten ja interstitiaalisten elementtien pitoisuudet. Jokaisen erän mukana toimitetaan erillinen analyysitodistus (CoA).
-Tuhoamaton testaus (NDT):Ultraääni-C{0}}skannaustarkastus arvioi kohteen ja taustalevyn välisen sidoksen eheyden, seuloa sisäisiä aukkoja tai delaminaatiota.
Metallografinen tutkimus:Optinen mikroskopia vahvistaa raekokojakauman ja faasin homogeenisuuden.
Standardien noudattaminen:Valmistettu ISO 9001:2015 laatujärjestelmän mukaisesti.
Pakkaus & Toimitus
Ensisijainen pakkaus:Puhdastila{0}}tyhjiö-suljetut kaksoispolyeteenipussit, jotka on täytetty inertillä argonkaasulla.
Toissijainen pakkaus:Ripustetut{0}}iskuja vaimentavat EPE-vaahtomuotit, jotka on sijoitettu raskaisiin-vientivanerilaatikoihin, jotka estävät reunan halkeilun tai pinnan naarmuuntumisen kuljetuksen aikana.
Mukana dokumentaatio:Analyysitodistus, käyttöturvallisuustiedote (MSDS) ja mittatarkastusraportti.
FAQ
K: Mikä puhtaustaso minun pitäisi valita optisiin sovelluksiin verrattuna koriste-PVD:hen?
V: Optiset ohut{0}kalvosovellukset vaativat yleensä 99,99 % (4N) tai korkeamman puhtauden, jotta voidaan poistaa metalliset inkluusiot, jotka aiheuttavat valon absorptiota tai sirontaa. Koristepinnoituslinjat, jotka käsittelevät toiminnallisia kerroksia, kuten TiN, käyttävät tyypillisesti 99,9 % (3N) puhtautta tasapainottaakseen kerrostuksen stabiilisuutta materiaalin kustannustehokkuuden kanssa.
K: Kuinka estät kohteen halkeilun suuritehoisen{0}}impulssimagnetronin sputteroinnin (HiPIMS) aikana?
V: Kohdehalkeilua lieventää tiukka monisuuntainen taonta ja poikki-valssaus, jotka varmistavat täysin uudelleenkiteytetyn, alle 100 um:n hienorakeisen rakenteen. Tämä yhtenäinen kiteinen suuntaus jakaa lämpörasituksen tasaisesti suurilla tehotiheyksillä.
K: Mikä on sidottujen kohteiden suurin tehotiheys sitomattomien monoliittisten kohteiden suhteen?
V: Sitoutumattomat monoliittiset kohteet rajoittuvat tyypillisesti pienempään tehotiheyteen kohteen ja katodin taustan välisen ilmaraon lämpövastuksen vuoksi. Sidotut kohteet, joissa käytetään indium- tai elastomeerirajapintaa, voivat käsitellä suurempia tehokuormia (yli 15 W/cm2), jos jäähdytetyn veden virtaus säilyy tehokkaana.
K: Voitko sovittaa mukautettuja taustalevypiirroksia vanhoille tai patentoiduille ruiskutusjärjestelmille?
V: Kyllä. Tuotanto mukautuu mukautettuihin taustalevyihin. Suunnittelija arvioi STEP-, IGES- tai 2D-PDF-piirustukset tiettyjen vesi-kanavien kokoonpanojen, O-renkaiden urien sijoittelun ja pultti{5}}kuvion vaatimusten mukaan.
K: Millä testausmenetelmillä varmistetaan juotettujen kohteiden liitoksen eheys?
V: Tuhoamaton ultraääni-C-skannaus--testaus tarkastaa koko liitosrajapinnan. Kaikki paikallinen sitoutumaton alue tai aukko, joka ylittää 5 % kokonaispinta-alasta, tai mikä tahansa yksittäinen aukko, joka on suurempi kuin 5 mm, johtaa hylkäämiseen.
K: Mikä on prototyyppi- ja tuotantoerätilausten standardi toimitusaika?
V: Vakiovarastomitat toimitetaan 3–5 arkipäivän kuluessa. Mukautetut-koneistetut kohteet tai liimaiset kokoonpanot vaativat 2–3 viikkoa materiaalin saatavuudesta ja taustalevykokoonpanon monimutkaisuudesta riippuen.
Pyydä tarjous
Lähetä tavoitetiedot (puhtaus, mitat, määrä, taustalevyn vaatimukset ja kohdekatodimalli), jotta saat virallisen tarjouksen ja materiaalitiedot 24 työtunnin kuluessa.
Suositut Tagit: pyöreät titaanisputterointikohteet, Kiina pyöreät titaanisputterointikohteet valmistajat, toimittajat, tehdas