Tuotteen yleiskatsaus
Mukautetut titaanisputterointikohteet toimivat erittäin{0}}puhtaina lähdemateriaalina fyysisille höyrypinnoitusjärjestelmille (PVD). Nämä kohteet on suunniteltu puolijohde-, optisiin ja kulutusta kestäviin-pinnoitussovelluksiin. Nämä kohteet käsitellään tyhjiöinduktiosulattamalla tai jauhemetallurgialla, mitä seuraa moni-lämpö{4}}mekaaninen käsittely hienojen, tasaakselisten raerakenteiden aikaansaamiseksi. Saatavana tasomaisena (suorakulmaisena, pyöreänä) ja pyöritettävänä kokoonpanona, yhdistettynä kupari- tai alumiinitaustalevyihin metalliliitoksen avulla.
Tekniset tiedot
|
Parametri |
Specification Range |
Testimenetelmä ja visuaalinen viite |
|
Materiaalin puhtaus |
99,9 % (3N) - 99,995 % (4N5) |
GDMS (Glow Discharge Mass Spectrometry) • Näytä esimerkki GDMS-testisertifikaatista: [Lataa PDF / Näytä raportti] |
|
Tiheys |
>= 4.50 g/cm^3 (>99,5 % teoreettinen) |
Archimedes-upotusmenetelmä |
|
Keskimääräinen jyväkoko |
< 100 um (customizable to < 50 um) |
EBSD / Metallografinen mikroskooppi • Näytä mikroskooppinen raerakennekuva: [Tarkista SEM Micrograph] |
|
Mitat |
Halkaisija jopa 400 mm (taso); Pituus jopa 3500 mm (käännettävissä) |
CMM laserskanneri |
|
Taustalevy |
OFHC kupari, luokka 2 titaani, alumiiniseokset |
Ultraäänitestaus sidoksen tyhjiösuhteelle |
|
Liimauksen eheys |
>95 % liimausalueen peitto |
Ultraääni-C-skannaus • Näytä C-skannausvirhekartta: [Tarkista Ultrasonic Scan] |
Tärkeimmät ominaisuudet
Yhtenäinen mikrorakenne:Hallitut lämpömekaaniset reitit eliminoivat paikalliset kovat kohdat, minimoiden valokaaren ja hiukkasten muodostumisen suuritehoisten DC- tai RF-sputterointien aikana.
Vähäiset kaasun epäpuhtaudet:Interstitiaalisia elementtejä (happi, typpi, hiili, vety) valvotaan tiukasti alle 500 ppm:n kalvon haurastumisen ja sähköisen ominaisvastuspiikin estämiseksi.
Luotettava lämpöliitäntä:Indium-, elastomeeri- tai hopea{0}}epoksiliitos tarjoaa korkean lämmönjohtavuuden, mikä estää kohteen vääntymisen ja halkeilun suuressa lämpövuossa.
Tarkat koneistustoleranssit:CNC-jyrsintä varmistaa tiukat tasaisuustoleranssit (+/- 0.05 mm) ja turvallisen katodin asennussovituksen.
Sovellukset
Puolijohde ja mikroelektroniikka:Sulkukerrosten, kosketusmetallien ja yhteenliittävien siementen PVD-pinnoitus piikiekoilla.
Optiset pinnoitteet:Heijastamaton (AR) pinnoite-, suodatinkerrokset ja arkkitehtonisesti matala-E-lasipinnoitus magnetronisputteroinnin avulla.
Kulutusta{0}}kestävä ja koristeellinen:TiN-, TiAlN- ja TiCN-kovapinnoitteet leikkaustyökaluille, lääketieteellisille implanteille ja kulutuselektroniikkalaitteille.
Tutkimus ja kehitys:Räätälöidyt seoskoostumukset ja räätälöidyt raekoot yliopistojen ja yritysten ohutkalvolaboratorioihin{0}}.
Räätälöinti ja valmistus
Kohteet rakennetaan suoraan asiakkaan CAD-tiedostoista ja tietyistä kammion geometrioista.
Sulaminen ja muodostus:Vacuum Induction Melting (VIM) yhdistettynä tyhjiökaariremeltingiin (VAR) varmistaa alhaisen erottelun. Myöhempi kuumataonta ja valssaus hajoavat-valudendriiteiksi.
Koneistusominaisuudet:Moniakselinen CNC-jyrsintä-, sorvaus ja langan EDM käsittelevät monimutkaisia geometrioita, kierteitettyjä jäähdytyskanavia ja tiettyjä reunaviisteitä.
Taustalevyn integrointi:Sisäisissä{0}}liimauslaitoksissa käytetään tyhjiöjuotto- ja puristuslaitteita kohdelaattojen liittämiseen kupari- tai alumiinitukiputkiin, mikä on varmistettu tuhoavilla leikkaustesteillä ja ultraääniskannauksella.
Laadunvalvonta ja sertifioinnit
Jokainen tuotantoerä käy läpi tarkan tarkastuksen ennen pakkaamista.
Analyyttinen testaus:Jokaisen erän mukana toimitetaan GDMS-analyysiraportit metallien ja interstitiaalisen epäpuhtaustason tarkistamiseksi.
-Tuhoamaton testaus (NDT):Liimattujen kokoonpanojen 100-prosenttinen ultraääni-C-skannaustarkastus havaitsee sisäisen delaminoitumisen tai halkaisijaltaan 2 mm:n aukkoja.
Mittojen vahvistus:Laser-CMM-tarkastus kirjaa kriittiset asennusmitat ja pinnan tasaisuuden.
Standardien noudattaminen:Valmistettu ISO 9001:2015 laatujärjestelmän mukaisesti.
Pakkaus & Toimitus
Tyhjiötiivistys:Kohteet puhdistetaan, kuivataan ja suljetaan hermeettisesti anti-staattisissa tyhjiöpusseissa luokan 10 000 puhdastilaympäristössä.
Suojaava pehmuste:Pakattu räätälöityyn -muovattuihin-suuritiheyksiseen polyeteenivaahtomuoviin (HDPE) ja kestäviin puisiin laatikoihin, jotka estävät pinnan naarmuuntumista, reunojen halkeilua ja kuljetusiskuja.
Toimitusasiakirjat:Jokainen lähetys sisältää analyysitodistuksen (COA), materiaaliturvallisuustiedotteen (MSDS) ja mittatarkastusraportin.
FAQ
K: Mikä on maksimipuhtaus titaanisputterointikohteille?
V: Vakiotuotanto saavuttaa 99,995 % (4N5) puhtauden. Tietyt puolijohdesovelluksiin tarkoitetut laatuluokat läpikäyvät kontrolloidun kaasun pelkistyksen happitason pitämiseksi alle 300 ppm:ssä.
K: Kuinka estät valokaaren suuren{0}}tehon sputteroinnin aikana?
V: Kaaremista vähennetään säilyttämällä hieno, tasainen raekoko (< 100 um) and low interstitial gas content. This eliminates localized density variations and inclusion sites that cause plasma discharge instability.
K: Mikä on omien mittojen normaali läpimenoaika?
V: Tavalliset tasomaiset kohteet toimitetaan 2–3 viikossa. Mukautetut pyöritettävät kohteet tai kokoonpanot, jotka vaativat erityisiä taustalevyjä ja liimauksen, kestävät yleensä 4–6 viikkoa.
K: Voitko toimittaa maalitauluja, jotka on liimattu valmiiksi{0}}kuparisiin taustalevyihin?
A: Yes. Copper, aluminum, and titanium backing plates are integrated using Indium solder or elastomer bonding, verified by ultrasonic C-scan testing for >95 % joukkovelkakirjalainan kattavuus.
K: Mitä tietoja materiaalitestiraportti (MTR) sisältää?
V: Jokainen lähetys sisältää GDMS-kemiallisen epäpuhtausanalyysin, tiheysmittaukset, raekoon jakautumistiedot ja ultraäänisidosten tarkastuskartat.
K: Allekirjoitatko salassapitosopimuksia (NDA) suojatuista kohdemalleista?
V: Kyllä. Räätälöidyt piirustukset, patentoidut seossuhteet ja erityiset katodirajapintojen mallit on suojattu standardeilla yritysten NDA-sopimuksilla ennen teknistä tarkistusta.
Pyydä tarjous
Anna tavoitemitat, puhtausaste, määrä ja tukilevyvaatimukset saadaksesi muodollisen teknisen tarjouksen ja toimitusaikaarvion 24 tunnin sisällä.
[Lähetä tarjouspyyntö / lataa piirustukset]
Suositut Tagit: mukautetut titaanisputterointikohteet, Kiina räätälöidyt titaaniruiskutuskohteet valmistajat, toimittajat, tehdas